真空泵的工作原理

日期：2025-05-07 11:26

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摘要：

真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強範圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣係統共同抽氣後才能滿足生產和科學研究過程的要求，由於真空應用部門所涉及的工作壓力的範圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用於所有的工作壓力範圍，隻能根據不同的工作壓力範圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

選用真空泵時，需要注意下列事項：

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空乾燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，*好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高於真空設備工作真空度半個到一個數量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強範圍，如：2BV係列水環真空泵工作壓強範圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強範圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強範圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個範圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由於真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低於大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。　

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